ミストCVD法による高耐食性・高導電性酸化膜
特許第6789490号
特許第7092280号, US11,189,846,132
特長
大気中で成膜できる シンプルで高機能な CVD被膜
従来のCVD法 ⇒ 真空中で成膜
・装置が高コスト
・真空引きに時間を要する
ミストCVD法 → 大気中で成膜
- 燃料電池セパレータに求められる
耐食性と導電性をもつ
高性能な金属酸化膜 - 高速な成膜による低コスト化
- 基材との良好な密着性、高被覆
ミスティックを燃料電池向け金属セパレータに適用し、
耐食性と導電性を併せもつ被膜を開発
性能データ
米国エネルギー省（DOE）が示す評価法を参考に実施
DOE Technical Targets for Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell Components
pH3 H2SO4 + 0.1ppmHF, 80℃, Ar purge,
走査速度1mV/s, -0.6V to +2.0V(Ag/AgCl)
pH3 H2SO4 + 0.1ppmHF, 80℃, Ar purge,
自然浸漬3h後 +0.6V(Ag/AgCl)72h
pH3 H2SO4, 80℃, 168h 浸漬
上記評価
Mistic についてのお問い合わせ先
＜新事業開発本部＞
Tel : 0778-51-5000 → ９ → 内線No.317
Fax : 0778-51-4710
担当者 : 長田
E-meil : Takuya_Hisaka@eyetec.co.jp
